超聲掃描顯微鏡（SAT）是一種利用超聲波為傳播媒介的無損檢測成像設備，主要利用高頻超聲波，對各類半導體器件、材料進行檢測，能夠檢測出樣品內部的氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷，并以圖形的方式直觀展示。在掃描過程中，不會對樣品造成損傷，不會影響樣品性能，可有效滿足新能源、半導體、電力電子、熱管理材料、金剛石復合材料、碳纖維復合材料等行業需求。

1、 具備A（點掃描）、B（縱向掃描）、C（橫向掃描）、透射掃描（需配置透射掃描單元及接收探頭選項）、多層掃描、Tray-托盤掃描，厚度測量等系列掃描模式。

2、 具備定量測分析功能，以圖像方式直觀顯示被測件內部缺陷的位置、形狀和大小，并進行缺陷的尺寸和面積統計，自動計算缺陷占所測量面積的百分比；具備缺陷尺寸標識；厚度與測距等功能。

3、 具備圖像著色功能，可根據相位翻轉自動著色；可根據灰度等級手動著色；可根據厚度變化，自動著色；

4、 適用于單個器件的快速掃描分析，也可批量放置樣品同步進行缺陷識別，快速篩選出不合格品。

5、 可兼容1~110MHz的超聲探頭。

6、 檢測軟件自主研發，中英文界面，可根據客戶需求對功能進行持續升級。

產品參數

產品主要配置

行業應用：

適用于塑封IC、光電器件、微波功率器件、MEMS器件、倒裝芯片、堆疊Stacked Die、MCM多芯片模塊、金剛石復合片、電器焊接件、陶瓷材料等領域的缺陷分析。